MEMS: Perbedaan antara revisi

← Revisi sebelumnya Revisi selanjutnya →

Konten dihapus Konten ditambahkan

Sebaris

Revisi per 17 Juli 2007 13.51

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari sensor mikro, aktuator mikro dan reraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon. Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "Lab on Chip". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai DNA chip.

Revisi per 17 Juli 2007 11.39 sunting Imuchtarom (bicara \| kontrib) 17 suntingan Tidak ada ringkasan suntingan ← Revisi sebelumnya		Revisi per 17 Juli 2007 13.51 sunting balikkan Imuchtarom (bicara \| kontrib) 17 suntingan Tidak ada ringkasan suntingan Revisi selanjutnya →
Baris 1:		Baris 1:
	'''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems'') adalah reraga peralatan elektro-mekanik terdiri dari sensor, aktuator dan reraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu ~~Bahan~~ substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon. Contoh ~~mikroaktuator~~ yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "''Lab on Chip''". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai ''DNA chip''.		'''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems'') adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari sensor mikro, aktuator mikro dan reraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu (IC). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon. Contoh aktuator mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan motor ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "''Lab on Chip''". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai ''DNA chip''.